国家知识产权局信息显示，苏州森丸电子技术有限公司取得一项名为“一种等离子清洗机用托盘”的专利，授权公告号CN223833067U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种等离子清洗机用托盘，属于托盘技术领域，包括托盘本体，所述托盘本体为钛金属结构体，且所述托盘本体上设有容纳腔；夹具，所述夹具安装于所述容纳腔内，且所述夹具上设有容纳槽，以将晶圆容纳，所述容纳槽侧面设有至少一个斜向开口，以便于将位于所述容纳槽内的晶圆取出。本实用新型的等离子清洗机用托盘实现了对晶圆的快速取放，相较于传统的抽拉式托盘，有效地避免了金属碎屑颗粒物掉落进入工艺腔室底部或晶圆表面，从而不会对设备腔室内部环境和晶圆表面洁净度产生影响，提高了对晶圆的等离子清洗效果。
天眼查资料显示，苏州森丸电子技术有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1432.5352万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州森丸电子技术有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，财产线条，此外企业还拥有行政许可7个。
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